差動排気型質量分析計『Transpector CPM』東京電子

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適！

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。

基本情報差動排気型質量分析計『Transpector CPM』

・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計
・365日の継続的モニタにより生産性向上とコスト削減を実現
・コンパクトで手頃な価格により、あらゆる低真空チャンバーに取り付け可能
・新しいHexBlockTMサンプリングシステムにより性能が向上
・プロセス圧力のモニタおよび真空のインターロック用としてCDGを採用
・校正のための基準ガスボンベをオプションで用意
・長寿命のフローズドイオンソースによりsub-ppmレベルの汚染物質の検出
　が可能で、腐食性ガスや反応性ガスにも対応
・軽量で移動が容易

価格帯	500万円 ~ 1000万円
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【環境分野】　・大気圧下の分析　・VOC、燃焼ガス分析【医療・ヘルスケア分野】　・呼気分析（リアルタイム）　・創薬における分析【工業製品分野】　・真空プロセス分析　・材料からの不純物分析　・触媒反応の分析

カタログ差動排気型質量分析計『Transpector CPM』

取扱企業差動排気型質量分析計『Transpector CPM』

東京電子株式会社

○自社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ　・その他 ○加速器向け製品・各種真空計　・真空ポンプ用電源　・真空排気装置 ○電子（応用）機器の受託設計・製造・各種制御機器