FabGuard Explorer

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！

★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託質量分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。
 （詳細を見る）

『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集
速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。

残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、
お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、
ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。

【特長】
■超高速データ収集
■TCP/IP イーサネット接続
■デュアルフィラメント
■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット
■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット（マッチング不要）
■設置スペースの最小化

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