株式会社堀場アドバンスドテクノ 非接触型薬液濃度モニタ『CS-900』
- 最終更新日：2022-01-12 09:12:21.0
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薬液濃度管理で歩留まり向上・プロセスの最適化へ貢献します
『CS-900』は、半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に
対応するため安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の
配管保持構造、コンパクトデザインなど現場ニーズに好適な
高機能化を果たしている非接触型薬液濃度モニタです。
PFA配管へダイレクトに外付けする独自のセンサ構造により
コンタミリスクが"ゼロ"に。また、センサ取り付け時における配管施工等が
不要になり、薬液漏れなどの事故のリスク削除をもたらします。
【特長】
■光ファイバーを使用しない光学設計とアンプ・センサの小型化により
設置レイアウトの自由度が向上
■完全非接触かつ高安定性を実現
■薬液（20℃～80℃）のダイレクト・安定測定を実現
■簡単取り付け、取り外しが可能
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報非接触型薬液濃度モニタ『CS-900』
【仕様】
■測定原理：吸収分光法
■濃度算出手法：温度補償型多変量解析法
■測定条件
1) 測定周期：約３秒
2) 移動平均：16回
■配管（静電防止タイプは不可）：PFA配管1インチもしくは3/4インチ
■電源：DC24V
■消費電力（起動時の過渡的電流は除く）：約30W
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
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カタログ非接触型薬液濃度モニタ『CS-900』
取扱企業非接触型薬液濃度モニタ『CS-900』
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【製品】 ■ラボ/ポータブル ■フィールド/プロセス ■環境 ■シリーズ ■センサ ■ホルダ ■洗浄器
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