非接触型薬液濃度モニタ『CS-900』

『CS-900』は、半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に
対応するため安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の
配管保持構造、コンパクトデザインなど現場ニーズに好適な
高機能化を果たしている非接触型薬液濃度モニタです。

PFA配管へダイレクトに外付けする独自のセンサ構造により
コンタミリスクが"ゼロ"に。また、センサ取り付け時における配管施工等が
不要になり、薬液漏れなどの事故のリスク削除をもたらします。

【特長】
■光ファイバーを使用しない光学設計とアンプ・センサの小型化により
　設置レイアウトの自由度が向上
■完全非接触かつ高安定性を実現
■薬液（20℃～80℃）のダイレクト・安定測定を実現
■簡単取り付け、取り外しが可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 （詳細を見る）