日本セミラボ株式会社 非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

広い範囲で優れた測定直線性!三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能

『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。

ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を
解決します。

2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等)
epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。

【特長】
■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決
■多数枚を迅速に計測処理する事が可能
■0.035~3200ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性
■計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

【機能詳細】
■最大300点まで計測可能
■自動ドリフト補正
■ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能
■カセットToカセット式ソーティング
■外部膜厚入力
■ウェーハマッピング(2次元等高線、3次元グラフィック)
■SPC(Statistical Process Control)統計管理ソフト

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
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カタログ非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

取扱企業非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

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日本セミラボ株式会社 新横浜本社

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