非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。

ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を
解決します。

2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等)
epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。

【特長】
■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決
■多数枚を迅速に計測処理する事が可能
■0.035～3200ohm／sq.という広い範囲で優れた測定直線性
■計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）