検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム
当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。
自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。
（検査装置側との通信が必要になります）
また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送
■搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能
■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現
■繰り返し性の高い駆動系の高信頼性で搬送可能
■装置側の様々なステージに搬送を実現
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報ウエハ搬送装置
【主なラインアップ】
■卓上型：75mm/100mm/150mm/200mm ウエハ対応
■自立型：150/200mm ウエハ対応
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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