ウエハ搬送装置

当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。

自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。
（検査装置側との通信が必要になります）
また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送
■搬送側での測定ウエハの選択　マニュアル搬送可能
■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現
■繰り返し性の高い駆動系の高信頼性で搬送可能
■装置側の様々なステージに搬送を実現

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 （詳細を見る）