Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスにも対応しています
『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を
実現した高速応答マスフローコントローラです。
リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや
液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。
また、DeviceNetやEtherCATなど、各種デジタルインターフェイスに対応
しています。
【特長】
■Auシール、ピエゾアクチュエータを採用
■サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現
■リンテック独自の自己温度補正方式を採用
■腐食性ガスや液化ガスにも対応
■流量精度は±1.0% S.P.を保証
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』
【仕様(抜粋)】
■MC-7100
・流量レンジ(N2 換算)：5～5000SCCM
・バルブ動作：ノーマリクローズ
・流量制御範囲：2～100%F.S.
・必要差圧：50～300kPa
■MC-7200
・流量レンジ(N2 換算)：10, 20SLM
・バルブ動作：ノーマリクローズ
・流量制御範囲：2～100%F.S.
・必要差圧：100～300kPa
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』
取扱企業高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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