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Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスにも対応しています
『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液…
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EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C
EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデ…
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分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しまし…
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低圧損、クリーン構造の小型ガス加熱器です
低圧損構造にも関わらずMax300℃まで加温可能な小型ガス加熱器です。 【特長】 ○圧力損失を低減することで流量制御後にも設置が可能 ○オールメタルシールのクリーン構造 ○接ガス部材質はS…
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低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのイ…
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低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです
MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフ…
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高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフ…
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高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series
多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L seriesの高温対応モデルです
独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使…
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デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラです
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイス…
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多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです
マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態…
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気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです
ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドル…
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液体用マスフローコントローラ LC-3000L series
当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します
ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 …
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各種液体流量を精密計測します
0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコン…
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減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの…
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減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A
液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3…
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減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-450 series
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-450
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータL…
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気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です
High-kや各種メタルなど、熱分解しやすい液体気化に適した気化器です 【特長】 ○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴…
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