伯東株式会社 *ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

•クリーンアプリケーション用途
•長期メンテサイクル、約2年半(22,000時間)連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間
•パーティクルレスでクリーンな排気
•空冷式:冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様
•Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合
•様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意
1. 標準モデル:クリーンプロセス用
2. Gバージョン:腐食性ガス排気用
3. CVバージョン:水蒸気排気用
4. CPバージョン:ガス循環用
5. Rバージョン:耐放射線仕様
•多彩なオプションをご用意:パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等
•単相/三相モーター選択可能

基本情報*ドライポンプACPシリーズ

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

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型番・ブランド名 ファイファーバキューム社製ACPシリーズ
用途/実績例 【用途】
クリーンアプリケーション用途

ラインナップ

型番 概要
ACP15 •排気速度:232 l/min •到達真空度:5 Pa ※パージなし •吸気口径:DN25 ISO-KF •排気口径:DN16 ISO-KF
ACP15G •Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル •排気速度:232 l/min •到達真空度:38 Pa ※パージあり •吸気口径:DN25 ISO-KF •排気口径:DN16 ISO-KF
ACP28 •排気速度:448 l/min •到達真空度:4 Pa ※パージなし •吸気口径:DN25 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP28G •Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル •排気速度:448 l/min •到達真空度:20 Pa ※パージあり •吸気口径:DN25 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP28CV •CVバージョン:水蒸気排気用モデル •排気速度:448 l/min •吸気口径:DN25 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP28CP •CPバージョン:ガス循環用途向け専用モデル •排気速度:614 l/min •連続運転可能吸気口圧:101,300 Pa •Heリークレート:5E-9 Pa m3/s •吸気口径:DN25 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP40 •排気速度:614 l/min •到達真空度:4 Pa ※パージなし •吸気口径:DN40 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP40G •Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル •排気速度:614 l/min •到達真空度:20 Pa ※パージあり •吸気口径:DN40 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP40CV •CVバージョン:水蒸気排気用モデル •排気速度:614 l/min •吸気口径:DN40 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP40CP •CPバージョン:ガス循環用途向け専用モデル •排気速度:614 l/min •連続運転可能吸気口圧:101,300 Pa •Heリークレート:5E-9 Pa m3/s •吸気口径:DN40 ISO-KF •排気口径:DN25 ISO-KF
ACP120G •Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル •排気速度:1,580~1,860 l/min •到達真空度:30 Pa(50Hz, パージあり), 10 Pa(60Hz, パージあり) •吸気口径:DN50 ISO-KF •排気口径:DN40 ISO-KF

詳細情報*ドライポンプACPシリーズ

ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

•クリーンアプリケーション用途
•長期メンテサイクル、約2年半(22,000時間)連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間
•パーティクルレスでクリーンな排気
•空冷式:冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様
•Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合
•様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意
1. 標準モデル:クリーンプロセス用
2. Gバージョン:腐食性ガス排気用
3. CVバージョン:水蒸気排気用
4. CPバージョン:ガス循環用
5. Rバージョン:耐放射線仕様
•多彩なオプションをご用意:パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等
•単相/三相モーター選択可能

カタログ*ドライポンプACPシリーズ

取扱企業*ドライポンプACPシリーズ

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