*ロータリーポンプHenaシリーズ／1 段式ステージ伯東

業界トップクラスの基本性能

•ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプと組合す事により、シンプルなシステム構築が可能
•ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

基本情報*ロータリーポンプHenaシリーズ／1 段式ステージ

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名	ファイファーバキューム社製Henaシリーズ
用途／実績例	【用途】 •分析装置 •加速器 •核融合装置 •その他

ラインナップ

型番	概要
Hena26	•排気速度：417 l/min(50Hz), 500 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G1 1/4
Hena41	•排気速度：667 l/min(50Hz), 800 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G1 1/4
Hena61	•排気速度：1,050 l/min(50Hz), 1,267 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G1 1/4
Hena101	•排気速度：1,667 l/min(50Hz), 2,000 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G1 1/4
Hena201	•排気速度：3,333 l/min(50Hz), 4,000 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G2 1/4
Hena301	•排気速度：5,000 l/min(50Hz), 6,000 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G2 1/4
Hena401	•排気速度：6,667 l/min(50Hz), 8,000 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G2 1/4
Hena631	•排気速度：10,000 l/min(50Hz), 12,667 l/min(60Hz) •到達真空度：30 Pa •吸気口径：G3 1/4

詳細情報*ロータリーポンプHenaシリーズ／1 段式ステージ

: 一般的に、大気圧から中真空 (～10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、幅広く使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。また、高真空を作り出す為に必要な主ポンプの補助ポンプとしても使用されます。

•排気速度→25～760(m3/h)
•オイルミストフィルター標準搭載
•コンパクト＆パワフル設計
•イージーメンテナンス
•高い安全性&信頼性
•静音, 低振動