真空(圧力)の質を計測する計測器で、分圧真空計とも呼ばれます。真空中でどのようなガスが、どの程度含まれているかを知る事が出来ます。質量分析計は、主に下記 3 種類に大別されます。
A. 磁場偏向型
B. 四重極型
C. 飛行時間型
基本情報*質量分析計
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ファイファーバキューム社質量分析計／QMG250, GSD350, QMG700 |
| 用途／実績例 | 【用途】 •QMG250 産業・環境分析・研究開発・半導体生産・コーティング技術等、広範囲な分野に対応します。 •GSD350 吸着の少ない一般的なガス（窒素、酸素、アルゴン等）分析に向いています。 •QMG700 特に触媒開発・分析での発生ガス中の酸化物等の高精度測定に向いています。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| QMG250 F1 | •マスレンジ：1-100 amu •ディテクタ：ファラデー •検出限界：4E-11 Pa（ファラデー） •感度：Ar 5E-6 A/Pa •許容最大圧力：5E-2 Pa（ファラデー） •隣接ピーク寄与率Mass40/41：<10 ppm •分析管ベーキング温度：最大300℃（動作時最大200℃、EM使用時最大150℃） |
| QMG250 F2 | •マスレンジ：1-200 amu •ディテクタ：ファラデー •検出限界：5E-11 Pa（ファラデー） •感度：Ar 4E-6 A/Pa •許容最大圧力：5E-2 Pa（ファラデー） •隣接ピーク寄与率Mass40/41：<20 ppm •分析管ベーキング温度：最大300℃（動作時最大200℃、EM使用時最大150℃） |
| QMG250 F3 | •マスレンジ：1-300 amu •ディテクタ：ファラデー •検出限界：7E-11 Pa（ファラデー） •感度：Ar 3E-6 A/Pa •許容最大圧力：5E-2 Pa（ファラデー） •隣接ピーク寄与率Mass40/41：<50 ppm •分析管ベーキング温度：最大300℃（動作時最大200℃、EM使用時最大150℃） |
| QMG250 M1 | •マスレンジ：1-100 amu •ディテクタ：ファラデー EM •検出限界：3E-13 Pa（C-SEM） •感度：Ar 5E-6 A/Pa •許容最大圧力：5E-2（ファラデー）、5E-3（C-SEM） •隣接ピーク寄与率Mass40/41：<10 ppm •分析管ベーキング温度：最大300℃（動作時最大200℃、EM使用時最大150℃） |
| QMG250 M2 | •マスレンジ：1-100 amu •ディテクタ：ファラデー EM •検出限界：4E-13 Pa（C-SEM） •感度：Ar 4E-6 A/Pa •許容最大圧力：5E-2（ファラデー）、5E-3（C-SEM） •隣接ピーク寄与率Mass40/41：<20 ppm •分析管ベーキング温度：最大300℃（動作時最大200℃、EM使用時最大150℃） |
| QMG250 M3 | •マスレンジ：1-100 amu •ディテクタ：ファラデー EM •検出限界：5E-13 Pa（C-SEM） •感度：Ar 3E-6 A/Pa •許容最大圧力：5E-2（ファラデー）、5E-3（C-SEM） •隣接ピーク寄与率Mass40/41：<50 ppm •分析管ベーキング温度：最大300℃（動作時最大200℃、EM使用時最大150℃） |
| GSD350 OmniStar | •測定質量数：1-100/1-200/1-300 •キャピラリ材質：ステンレスクォーツ •ガス導入方式：バルブ制御可能 •ガス流量：1~2 sccm |
| GSD350 ThermoStar | •測定質量数：1-100/1-200/1-300 •キャピラリ材質：クォーツ（メモリ効果防止） •ガス導入方式：常時導入 •ガス流量：1~2 sccm |
| HiQuad QMG700／高分解能測定型 | •質量分析範囲：1-128 •最大測定圧力：1E-3 Pa(SEM), 1E-2 Pa(ファラデー) •検出器：ディスクリートSEM／ファラデー •Qポール：16mm径, 300mm長, モリブデン •最小検出限界：5E-14 Pa •最小検出限界(分圧)：0.3 ppb •測定動作温度：最大150 ℃ •ベーキング温度：動作時最大180 ℃／分析管単体最大400 ℃ |
| HiQuad QMG700／高質量測定型 | •質量分析範囲：1-300, 512 •最大測定圧力：1E-3 Pa(SEM), 1E-2 Pa(ファラデー) •検出器：ディスクリートSEM／ファラデー •Qポール：8mm径, 200mm長, モリブデン(300 amuのみSUS) •検出限界：1E-13 Pa(512 amuタイプ) •動作温度：最大150 ℃ •ベーキング温度：動作時最大180 ℃／分析管単体最大400 ℃ |
詳細情報*質量分析計
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•モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
•コンパクトかつハイパフォーマンス
•多様なインターフェイスによるシンプルなシステム連携
•Webブラウザ簡易測定機能
•高感度・低ノイズ・クラス最高の高ダイナミックレンジ
•最速1ms(Dwell time)の高速測定
•アナログ・デジタル入力、デジタル出力を標準装備（オプションで拡張可）
•新PV MassSpecソフトウェア
マトリクス方式の定量分析
シーケンス作成・内部計算機能
温度情報等の外部信号の取り込み
スレッシュホールド機能により外部機器を制御
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•専用設計の2段減圧方式により、偏析の防止と高速なレスポンスを実現
•最大200℃、最大350℃（オプション）の温度制御ヒータ付きキャピラリー
•専用設計のイオン源の採用により、少量の導入ガスを効率良くイオン化
•省スペース、軽量設計、取り外し可能なタッチパネル装備
•最速1ms(Dwell time)の高速測定
•校正ユニット内蔵（オプション）、耐腐食性バージョン（オプション）
•新PV MassSpecソフトウェア
マトリクス方式の定量分析
シーケンス作成・内部計算機能
温度情報等の外部信号の取り込み
スレッシュホールド機能により外部機器を制御
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•多用途高性能四重極質量分析計
•モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
•高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現
カタログ*質量分析計
取扱企業*質量分析計
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