ウエハーBUMPリフローや真空リフロー装置、卓上リフロー装置などをご紹介
大日商事株式会社が取扱う『リフロー装置』についてご紹介します。
「N2コンパクトサイズリフロー」は、全長2.5mで6ゾーンのコンパクトサイズを
実現した製品で、BGA/CSP等パッケージに対応しています。
「φ6-8インチウエハーBUMPリフロー」は、半田めっき処理後のバンプ形成用
ウエットバック装置として利用でき、「φ8-12インチウエハーBUMPリフロー」は、
ボール搭載後、印刷バンプ後のリフローに適応する製品です。
また、「真空リフロー装置」や「卓上リフロー装置」も取り扱っています。
【N2コンパクトサイズリフロー 特長】
■Max 350℃ （±2.5℃）
■適応サイズ：Max250×230mm
■炉内酸素濃度：50ppm～
■3相 200V 20kW
■熱風循環＋遠赤外線の併用可
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報リフロー装置
【その他特長（抜粋）】
■φ6-8インチウエハーBUMPリフロー
・加熱方式：ホットプレートと上部遠赤外ヒーターの併用
・ローダー、アンローダー一体型設計
・炉内へのハンドリングは3軸クリーンロボットを装備
■φ8-12インチウエハーBUMPリフロー
・加熱方式：ホットプレートと上部遠赤外ヒーターの併用
・ホットプレート：ウェハーの反りに適応したビン立て加熱
・3軸クリーンロボットを2基搭載
■真空リフロー装置
・最大φ12インチ（単槽）
・真空度：10kpa以下
・ホットプレート＆遠赤外線
・冷却：N2ノズル（炉内）／水冷プレート（炉外）
■卓上リフロー装置
・コンベア式＆バッチ式加熱炉
・最高400℃まで、最大340mm幅まで対応
・炉内観察用横窓付き
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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