サムコ株式会社 プラズマ処理法『Aqua Plasma』

還元に、接合に、水が効く。画期的なプラズマ処理装置についてご紹介します

『Aqua Plasma』は、水蒸気(H2O)を用いた新しい処理法です。

酸化した金属の還元、樹脂接合、親水化、有機物の分解を効率的かつ
安全に行うことが可能。

省スペースモデルの「AQ-500」をはじめ、大面積基板対応モデルの
「AQ-2000」や、マガジンモデルである「AQ-100M」などをラインアップ
しております。

【ラインアップ】
■省スペースモデル AQ-500
■大面積基板対応モデル AQ-2000
■Φ8″ダブルカセットモデル AQ-200C
■マガジンモデル AQ-100M

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報プラズマ処理法『Aqua Plasma』

【製品特長】
<省スペースモデル AQ-500>
■金属酸化膜の安全な還元と有機物の洗浄を実現
■樹脂の常温接合と超親水化
■オールインワンによる省フットプリント(500 mm (W) x 650 mm (D))
■水蒸気生成ユニットのワンタッチ起動

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【応用例】
<省スペースモデル AQ-500>
■銀電極の表面還元、改質、洗浄
■銅電極の表面還元、改質、洗浄
■樹脂、ガラスの常温接合(接着剤レス)、マイクロ流体チップ用途
■樹脂の表面改質、超親水化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

取扱企業プラズマ処理法『Aqua Plasma』

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サムコ株式会社

半導体等電子部品の製造・販売を行っています。 最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。

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