ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』ジェーイーエル

ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボット

『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き
4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。

アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部
防水構造にVシールを使用しています。

保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に
適しています。

【特長】
■300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシールを使用
■ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮が可能
■酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に好適

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.jel-robot.co.jp/products/

基本情報ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

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用途／実績例	【用途】 ■保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。