株式会社ジェーイーエル
最終更新日:2021-01-19 09:18:02.0
ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』
ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』
『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き
4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。
アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部
防水構造にVシールを使用しています。
保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に
適しています。
【特長】
■300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシールを使用
■ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮が可能
■酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に好適
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