パーク・システムズ・ジャパン株式会社 原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-Hivac』
- 最終更新日：2021-01-22 16:09:30.0
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故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング
『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの
高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。
高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。
また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で
高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。
【故障解析の為の高真空計測】
■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構とレーザーアライメント機構
■マルチサンプルチャック
■Park独自の容易なチップ交換機能
■大型真空チャンバー(300mm×420mm×320mm)
■超長距離観察を実現した直上光学顕微鏡
■感度が向上された高真空SSRMモード
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基本情報原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-Hivac』
【仕様（スキャナー）】
■XYスキャナー：50μm×50μm(100μmx100μmオプション)
■Zスキャナー：15μm
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
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カタログ原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-Hivac』
取扱企業原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-Hivac』
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【取扱製品】 ■研究用 ・小型サンプル対応AFM ・大型サンプル対応AFM ■生産ライン用 ・全自動AFM ■Bio and Chemical ・Bio AFM＆SICM
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