パーク・システムズ・ジャパン株式会社　製品・ソリューションカタログ

『Park NX10』は、サンプルのセッティングからイメージング、測定、
解析に至るまですべての段階において簡単に操作することができる
原子間力顕微鏡(AFM)です。

本製品なら、ユーザーはより多くの時間と、より優れたデータを基盤に
革新的な研究に集中することができます。

【特長】
■クロストーク除去によるボーイングの無い正確なXYスキャン
■低ノイズZ検出器を使った正確なAFMトポグラフィー
■真のノンコンタクト(TM)モードによる最高クラスのチップ寿命、分解能
　およびサンプルの保護
■半導体/ポリマー/電池材料や炭素系材料などさまざまな材料の表面解析を
　ナノオーダーで解析(※イメージギャラリー参照)

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『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた
大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。

本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な
ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。

また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、
かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。

【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】
■メディア、基盤用の表面ラフネス計測
■欠陥検査イメージングと解析
■高解分解能電気特性測定モード
■3D構造解析における側壁計測
■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング

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『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの
高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。

高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。

また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で
高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。

【故障解析の為の高真空計測】
■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構とレーザーアライメント機構
■マルチサンプルチャック
■Park独自の容易なチップ交換機能
■大型真空チャンバー(300mm×420mm×320mm)
■超長距離観察を実現した直上光学顕微鏡
■感度が向上された高真空SSRMモード

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『Park NX12-Bio』は、1台の革新的プラットフォームに3種類の
高性能ナノスケール顕微鏡を搭載した原子間力顕微鏡(AFM)です。

革新的な液中イメージングが可能な走査型イオンコンダクタンス
顕微鏡(SICM)と高い評価をいただいている原子間力顕微鏡(AFM)技術の
両機能を可能にしています。

【ナノスケール生物学研究のための総合的なソリューション】
■フレクチャー式の完全独立Z軸スキャナ/XYスキャナを搭載、
　完全非接触技術(TM)を備えた高精度Park NX AFM
■倒立型光学顕微鏡技術による超高分解光学イメージング
■スキャニング イオンコンダクタンス顕微鏡搭載により進化した
　生体細胞イメージング

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『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁
イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの
原子間力顕微鏡(AFM)です。

傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン
システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の
課題を克服します。

【ウエハファブ用で必須なツール】
■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM
■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン
■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測
■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに
　高品質のイメージが得られる

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