活性化アニール炉『VF-3000H』光洋サーモシステム

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した
活性化アニール炉です。

ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い
ウェーハサイズに対応します。

ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで
お使いいただけます。

また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。

【特長】
■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応
■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応
■炉内は当社独自のメタルフリー構造
■ウェーハ近傍の温度モニターが可能
■N2ロードロックを標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.koyo-thermos.co.jp/products/handou/hand…

基本情報活性化アニール炉『VF-3000H』

【その他の特長】
■C to C搬送を備え、高スループットを実現
■H2雰囲気でのトレンチラウンド化アニールに対応(オプション)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■SiCパワーデバイス用、研究開発、量産用、活性化アニール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業活性化アニール炉『VF-3000H』

光洋サーモシステム株式会社営業管理部

当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。