光洋サーモシステム株式会社営業管理部
最終更新日：2021-01-29 14:48:32.0
活性化アニール炉『VF-3000H』
活性化アニール炉『VF-3000H』
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した
活性化アニール炉です。
ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い
ウェーハサイズに対応します。
ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで
お使いいただけます。
また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。
【特長】
■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応
■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応
■炉内は当社独自のメタルフリー構造
■ウェーハ近傍の温度モニターが可能
■N2ロードロックを標準装備
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 活性化アニール炉『VF-3000H』
当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。 電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。
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