光洋サーモシステム株式会社 300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
- 最終更新日：2021-01-29 14:48:02.0
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『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した
フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。
300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。
LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。
シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に
適しています。
【特長】
■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能
■最大16個のFOUPストッカー
■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮
■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送
■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
【仕様】
■本体寸法(mm)：1250(W)×4300(D)×3450(H)
■ヒータ：LGOヒータ
■均熱長(mm)：1040
■ウェーハサイズ(mm)：300
■最大処理枚数：100枚
■I/Oポート：2
■FOUPストック：16(標準)
■ウェーハ搬送：枚葉+5枚一括
■オプション：強制冷却システム、N2ロードロック、HOST通信(HSMS/GEM)
■処理品：シリコン、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■酸化・拡散・CVD処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
取扱企業300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
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当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。 電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。
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