Si-IGBTパワーデバイス用熱処理システム

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300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』

『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した
フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。

300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。
LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。

シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に
適しています。

【特長】
■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能
■最大16個のFOUPストッカー
■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮
■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送
■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。（詳細を見る）

取扱会社 Si-IGBTパワーデバイス用熱処理システム

光洋サーモシステム株式会社営業管理部

当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。