光洋サーモシステム株式会社 ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
- 最終更新日：2021-01-29 14:47:38.0
- 印刷用ページ
R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した
ミニバッチ縦型炉です。
ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い
ウェーハサイズに対応します。
超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに
適しています。
【特長】
■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応
■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応
■最大4個のカセットストッカー
■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮
■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
【仕様(抜粋)】
■本体寸法(mm)：1200(W)×1450(D)×2610(H)
■ヒータ：LGOヒータ
■均熱長(mm)：350～500
■ウェーハサイズ(mm)：～Φ200
■最大処理枚数：75枚
■I/Oポート：4
■カセットストック：4
■ウェーハ搬送：枚葉
■オプション：強制冷却システム、N2ロードロック、ウェーハサイズの兼用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■酸化・拡散・CVD、活性化アニール処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログミニバッチ縦型炉『VF-3000』
取扱企業ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
-
-
当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。 電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。
-
ミニバッチ縦型炉『VF-3000』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。