VCSEL用縦型熱処理システム

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ミニバッチ縦型炉『VF-3000』

『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した
ミニバッチ縦型炉です。

ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い
ウェーハサイズに対応します。

超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに
適しています。

【特長】
■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応
■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応
■最大4個のカセットストッカー
■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮
■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。（詳細を見る）

取扱会社 VCSEL用縦型熱処理システム

光洋サーモシステム株式会社営業管理部

当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。