日本セミラボ株式会社 結晶欠陥検査装置『EnVision』
- 最終更新日：2021-03-03 10:32:13.0
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非破壊/非接触！nmスケールのウェハー内部の拡張欠陥の検出とモニタリングが可能
『En-Vison』は、転位欠陥、酸素析出物、積層欠陥などのウェハー内部の
結晶欠陥を非接触・非破壊で測定・評価ができる結晶欠陥検査装置です。
欠陥サイズ（15nm～サブミクロン）と密度（E6～E10/cm3）の両方で
ハイダイナミックレンジを提供。
ウェハー深さ方向の検出感度を大幅に向上させ、幅広い密度とアプリケーションを
カバーすることで、表面近傍では確認ができない深さ方向の応力起因転位欠陥の
検出感度を、従来の手法よりも大幅に向上させています。
【特長】
■非破壊/非接触
■従来の検査装置では確認できない欠陥を可視化
■対象領域：活性デバイス領域（表面近傍）
■生シリコンと活性デバイス深さでの検出
■専門知識は不要
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基本情報結晶欠陥検査装置『EnVision』
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カタログ結晶欠陥検査装置『EnVision』
取扱企業結晶欠陥検査装置『EnVision』
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