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最終更新日:2021-03-03 16:26:28.0

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結晶欠陥検査装置『EnVision』

結晶欠陥検査装置『EnVision』

結晶欠陥検査装置『EnVision』 製品画像

『En-Vison』は、転位欠陥、酸素析出物、積層欠陥などのウェハー内部の
結晶欠陥を非接触・非破壊で測定・評価ができる結晶欠陥検査装置です。

欠陥サイズ(15nm~サブミクロン)と密度(E6~E10/cm3)の両方で
ハイダイナミックレンジを提供。

ウェハー深さ方向の検出感度を大幅に向上させ、幅広い密度とアプリケーションを
カバーすることで、表面近傍では確認ができない深さ方向の応力起因転位欠陥の
検出感度を、従来の手法よりも大幅に向上させています。

【特長】
■非破壊/非接触
■従来の検査装置では確認できない欠陥を可視化
■対象領域:活性デバイス領域(表面近傍)
■生シリコンと活性デバイス深さでの検出
■専門知識は不要

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取扱会社 結晶欠陥検査装置『EnVision』

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