コールドカソードゲージ『M-370CG』キヤノンアネルバ

優れた測定安定性！未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減します

『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な
コールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）です。

高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。

優れた測定安定性で、未放電による測定停止、
圧力表示値のフラツキを低減します。

【特長】
■高真空下での良好な起動性
■未放電・放電遅れを解消
■容易なメンテナンスでメンテナンスは部品交換のみ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報コールドカソードゲージ『M-370CG』

【仕様（抜粋）】
■入力電圧：DC＋15～30V
■消費電力：2.4W
■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A）
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能
■使用温度範囲：5～55℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：CC1
■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様）
■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE ■SEM、SIMS、AES、XPS、表面/ガス/質量分析 ■アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接 ■加速器、サイクロトロン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。