フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサに。
・優れた気密性
溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。
ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec
・コンタミネーションが無い
接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。
・耐食性が高い
接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。
バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、
オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。
・寿命が長い
運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、
製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。
※特殊仕様対応も可能です。
基本情報メタルベローズポンプ
モーターシャフトとベアリング間の偏心カムによってドライバが往復運動するとベローズに変位置が与えられ、リードバルブが開閉、流体ガスを吸込、吐出します。
流体ガスを完全密閉するベローズと、無給油密閉型ボールベアリングを組込んだドライバを溶接したドライブユニット、成功に成型加工された高性能リードバルブの組み合わせによって、メタルベローズポンプは性能低下無く無限に近いサイクル運転ができるよう設計されています。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・酸素濃度計、大気分析計、排ガス分析計等のサンプリング ・原子発電所、研究用の放射能監視分析機器のサンプリング ・放射能同位体元素（トリチウム等）の循環、貯蔵システム ・有毒、高価ガス（レアガス）の処理工程。 ・商用航空機の飲料水加圧 ・半導体プロセスガス（フッ素、特殊水素等）の移送、貯蔵 ・エキシマレーザー用ガス精製装置 ・極低温・超電導関連（ヘリウム）、希釈冷凍機（ヘリウム3）のガス循環 ・医療PET診断用加速器の冷却ライン |
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