ダイアフラムポンプ　FD-5/FD-5DC

『N2-DT604シリーズ』は、窒素ガスの発生に独自のメンブレン（膜分離技術）を
採用している窒素ガス発生器です。

電源および高価・危険・不便な窒素ボンベが不要で圧縮AIRを
供給するだけで簡単にご使用になれます。

窒素ガス発生装置内部には、中空糸を束ねたメンブレンモジュールと呼ばれる
分離膜が内包されています。その中空糸内を圧縮空気が通過する事によって
ガスの分離を行い、窒素ガスを発生(他ガスと分離)させます。

ガスの分離はガスの分離速度の差に依存し、窒素濃度は圧縮空気の供給圧に
依存する事を利用し容易に高い濃度の窒素ガスを得る事ができます。

【特長】
■窒素ガスの発生には独自の膜分離技術を採用
■メンブレン方式につき摺動稼働部品がない
■高価・危険・不便な窒素ボンベが不要
■電源が不要
■コンパクト設計及び軽量、設置も簡単で貴重なフロアスペースの節約に
■多目的な用途に利用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITNHシリーズ』は、国内メーカー製低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサーを
採用したPSA窒素ガス発生装置です。

さらに流量調節にも定流量調節弁を標準装備しているので2次側の圧力変動の影響を受けません。
装置内部に水ドレン気化装置内蔵、設置場所を選びません。

IBSの「ガス発生装置」は、当社から各社へOEM供給しています。メンテナンス業務の請負を通じ、
ガス発生装置を製造する立場から、お客様の仕様にあった的確な製品をアドバイスしご提供しています。

当社では、発生量・仕様に 応じての製品設計・選定のみならず、
付帯設備等の選定・アドバイスまで行っています。

【特長】
■発生量・吐出圧力アップ
国内メーカー製低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサーを採用
従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ、吐出圧力も大幅アップ

■マイコン制御回路を一新
LCD表示を4行に変更し表示する情報量を大幅アップ

■特殊仕様も対応可能
高純度（99.999％）の対応や高圧力の対応も可能

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『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な
アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。

当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに
高い再現性を誇ります。

優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが
向上します。

【特長】
■マルチガス・マルチレンジ
■高速応答性
■100％メタルシール・高純度設計
■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応

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『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する
デジタルマスフローコントローラです。

高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上
経過してもフルスケール流量の0.5％以下という優れた長期的ゼロドリフト
安定性を発揮します。

【特長】
■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能
■ピエゾ制御バルブ
■各種のアラーム/診断機能
■使用ガスおよび流量レンジの選択可能
　※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応

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『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を
予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー
コントローラです。

優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、
生産歩留まりを改善します。

また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも
対応します。

【特長】
■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能
■高い計測精度と再現性
■IGS方式対応
■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
■フィールドでのプログラムが可能

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『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて
フィールドで活躍するマスフローコントローラです。

高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により
経済性を向上しています。

また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。

【特長】
■エラストマー(ゴム)シール
■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部
■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ
■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。　
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『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、
メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。

主要なガス制御アプリケーションに適しています。

⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、
優れた制御性を発揮します。

【特長】
■耐腐食設計
■メタルシール採用
■VCR、Swagelok互換の接続部
■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ
■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ

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『H2PEMシリーズ』は、FIDに好適な燃焼ガスを最大14台分
供給可能な高純度水素ガス発生装置です。

先進的な純粋管理システムと制御回路により長時間の動作が可能。
運転状況を照明の色で表示、水位の確認・動作状況を簡単に確認できます。

その他、ガスクロマトグラフィーのキャリアガスにも使用可能な
「H2PDシリーズ」と「H2シリーズ」もご用意しています。

【特長】
■FIDに好適な燃焼ガスを最大14台分供給可能
■USB接続により作動状況のモニタリング及びリモートコントロールが可能（オプション）
■研究用としてCSA／UL／cUL／CEマーク認定
■コンパクトでベンチ上の所要面積はわずか0.09m2
■電解液は不要

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IBSはチェックバルブ（逆止弁）・リリーフバルブ（逃し弁）
その他流体制御機器をご要望に合わせて製作いたします。

チャッキ弁の特殊対応、品質改善、小型化、コストダウン等
様々な課題、問題点を解決します。

さらに、標準仕様の逆流防止弁以外にお客様のアプリケーションに合わせ、
指定の性能、材質、接続、サイズなど特注仕様に対して柔軟に対応できます。

【対応例】
■ご要望の形状、仕様での設計
■標準以外の接続・材質を希望
■周辺関連機器とのマニホールド化、アッセンブリーでの設計、納入
■標準ラインアップ以外のシール材の対応
■海外品を使用しており、納期、価格、品質が合わない　など

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『樹脂製エジェクター(インジェクター)』は、ボディ材質に
耐食性に優れるPP及びPVDFを採用した流体混合器です。

樹脂製につき軽量、ローコスト。異流体のミキシング用途でも
ご使用いただけます。

【特長】
■樹脂製につき軽量、ローコスト
■ボディ材質は耐食性に優れるPP及びPVDFを採用
■80種以上のモデルをラインアップ
■異流体のミキシング用途でも使用可

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当社が取り扱う、液体仕様のダイアフラムポンプ『FD-2L/FD-2DCL』の
ご紹介です。

最大流量は0.5L/min以上で、最大真空度が-30.0kPaG以下。
液体ポンプとして使用可能で、腐食性流体(洗浄液、プリンタインク等)
の移送用途に適しています。

この他にも、最大流量が1.2L/min以上の「FD-5L/FD-5DCL」もご用意
しております。

【特長】
■腐食性流体(洗浄液、プリンタインク等)の移送用途に好適
■液体ポンプとして使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ防爆型『FD-5XP』のご紹介です。

小型/軽量で、耐圧防爆d2G4規格のモータを搭載。

ポンプヘッドと吸排気チューブにはSUS304の接ガス材質を
使用しております。

【特長】
■耐圧防爆型(d2G4)
■小型/軽量

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ高温型『FD-2HT』のご紹介です。

標準仕様で耐腐食性能を向上し、150℃までの高温ガスで使用可能。

気体用と液体用とでお使いいただけます。

【特長】
■標準仕様で耐腐食性能を向上
■150℃までの高温ガスで使用可

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『FD-5/FD-5DC』のご紹介です。

最大流量は「FD-5」が、5.0L/min(60Hz)以上、「FD-5DC」が8.0L/min以上。

DCモータでは標準機能として可変速運転が可能で、標準仕様で腐食性能を向上
しました。

【特長】
■標準仕様で腐食性能を向上
■DCモータでは標準機能として可変速運転が可能

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当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『FD-2/FD-2DC』のご紹介です。

従来型(LVM-10/DCP-20)に比べ大幅に振動を軽減。
最大真空度は-50.0kPaG以下で、最大運転圧力は
65.0kPaGとなっております。

オプションでねじ込み接続を追加できます。

【特長】
■従来型(LVM-10/DCP-20)に比べ大幅に振動を軽減
■オプションでねじ込み接続を追加

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■方式PSA
■屋外設置対応
■純度99～99.99％
■発生量8～150Nm3/h （詳細を見る）

配管内の圧力が設定圧力以上になると、大気に圧力を逃がす
小型の圧力制御弁です。RHAシリーズは小型高圧装置に最適です。
 （詳細を見る）

配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から二次側に圧力を逃がす
小型の圧力制御弁です。オプションの手動開放機構を取り付けることにより、
手動で強制開放(リリーフ）することも可能です。 （詳細を見る）

配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から二次側に圧力を逃がす
小型の圧力制御弁です。RHLシリーズは小型高圧装置に最適です。 （詳細を見る）

配管内の圧力が設定圧力以上になると、大気に圧力を逃がす
小型の圧力制御弁です。RCシリーズは低圧、大気開放で使用する機器に最適です。またディフレクターキャップにより屋外等の曝露使用環境において
バルブ内部への異物侵入を防止します。 （詳細を見る）

複数台制御が可能な窒素ガス発生装置です。
制御機能を備えた親機とPSAユニットだけの子機を複数台設置し、
窒素ガス必要量に応じて親機のタッチパネルで子機の運転台数を制御できる画期的なPSAです。

ボンベとは異なり、ガス発生装置は交換が不要ですので、
交換の工数削減とボンベのランニングコスト削減に繋がります。

【特徴】
■方式PSA
■純度99～99.99％
■発生量15～600Nm3/h

＜ご要求に応じ増設可能＞
従来MODELの特長を生かし、全制御機能を持ったPSAの親機と、同能力のPSAユニットだけの子機で構成されます。
子機は必要に応じて3機まで増設することができ、組み合わせによって、
99.99%時の発生量が15～300Nm3/hまで選択することができます。
（99.99%時の発生量15・20・30・40・50・60・　75Nm3/hの6種類あります。）

※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

『RAシリーズ』は、配管内の圧力が設定圧力以上になると、
大気に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。

低圧、大気開放で使用する機器に好適です。

【特長】
■大気開放型
■高精度なクラッキング性能、高シール性
■豊富な口径ラインアップ
■小型、軽量
■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷

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『RLシリーズ』は、配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から
二次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。

低圧、インライン(二次側を配管可能）で使用する機器に好適です。

【特長】
■インライン型(外部に漏れ無し）
■高精度なクラッキング性能、高シール性
■豊富な口径ラインアップ
■小型、軽量
■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷
■パーフロシールにも対応でき、有機溶剤や腐食性ガスでも使用可能

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『ダイアフラム式エアーポンプ』は、小型、軽量設計により機器内蔵が容易で
ガス分析のサンプリング用として好適です。

接ガス部は仕様によりフッ素樹脂、ステンレスの構造となり、
耐食性の要求される環境下でも使用可能。

「LVM-10/MF-1」と「DCP-20」をラインアップしています。

【特長】
■ガス分析のサンプリング用として好適
■独自設計によりバルブは長寿命で、ポンプ全体の気密性も高く設計
■吸排気口(IN/OUT)は標準でチューブ接続、くい込み式の継手にも対応可能
■気液混合エアーにも対応し、液体用としても使用可能（自吸式）
■耐食性の要求される環境下でも使用可能

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『ITOS屋外シリーズ』は、中型タッチパネル操作のPSA酸素ガス発生装置です。

従来モデルをさらに小型化。
制御、メンテナンスが前面から行えるイージーアクセス設計。
さらなる静音化により人がいる作業環境に設置しても気になりません。

また、エアータンクを内蔵していますので、直結しても
コンプレッサーに負担がかかりません。

【特長】
■大流量シリーズ
■運転操作設定、管理はカラーディスプレイタッチパネルに表示
■省スペース・低騒音設定
■エアータンク内蔵
■専用オイルミストフィルターユニット

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『ITOK屋外シリーズ』は、小型タッチパネル操作屋外仕様の
酸素ガス発生装置です。

カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・総合制御はそのままに
PLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化。

パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の
騒音を最低限に抑えました。

【特長】
■防滴構造で屋外設置可能
■エアー源があれば多用途に使用可能
■3.5型 QVGA高精細表示タッチパネル採用
■低騒音設計
■第二種圧力容器の適用範囲外

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『ITACL-O2中型シリーズ』は、中型コンプレッサー内蔵タッチパネル操作の
酸素ガス発生装置です。

11kw～22kwの中型オイルフリースクロールコンプレッサーと、
冷凍式エアドライヤーをコンパクトに納めたコンプレッサー一体型の酸素PSA。

自己診断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所を
カラータッチパネルに表示適切なサービス対応が可能です。

【特長】
■小型軽量でコンパクトなワンパッケージ
■タッチパネル操作による総合制御パネル
■低騒音オイルフリーコンプレッサーユニットを内蔵
■徹底した防音対策を施すことにより静かな室内でも使用可能
■装置保証１年間

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『INHPシリーズ』は、超小型低騒音・省エネ制御、タッチパネル操作の
PSA窒素ガス発生装置です。

製品ガス使用量に応じて原料空気を低減させる省エネ運転特許技術と
複数のPSA ユニットを制御する台数制御省エネ運転特許技術を
活用した集大成。

省エネ効果の高い低圧コンプレッサー（0.69MPa）を前提とした装置設計で、
省エネ対応した低圧工場エアーでも、従来と同じレベルの
窒素ガス発生が可能です。

【特長】
■低圧原料エアーでも高性能
■高吐出圧力・低騒音・高さを抑えた省スペース設計
■独自の制御技術を使った省エネ運転モード
■高耐久で長いメンテナンスサイクルを実現

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『RDシリーズ』は、配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から
二次側に圧力を逃がす圧力制御弁です。

フッ素樹脂PFAをボディに採用し、薬液や溶剤、腐食性流体でも使用可能です。

チューブ出しにつき継手仕様を選びません。

【特長】
■クラッキング圧力は簡単に任意調整可能
■チューブ出しにつき、継手仕様を選ばない
■ベローズ方式及びシール材パーフロを採用し
　耐食、耐薬品性を考慮した設計

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メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。
※技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細は、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

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メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

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メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

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メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。 （詳細を見る）

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He)　
■コンタミネーション無し
　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
　接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
　又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、
　接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
　運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
　設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。
※技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい （詳細を見る）

『ITZH屋外シリーズ』は、複数台制御が可能な窒素ガス発生装置です。

複数ユニットにて装置が構成されている為、N2ガスの使用量に応じて
子機の運転をとめることができ、無駄なエアーを消費しません。

さらに吸着時間をコントロールする流量運転機能も搭載。

原料エアーの消費量≠コンプレッサーの電力費を削減することができ
大きな省エネ効果とCo2排出量削減効果が得られます。

【特長】
■タッチパネル操作
■省エネ運転機能
■高吐出圧力
■エアータンク内蔵
■低騒音設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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『ITAC屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー
内蔵の窒素ガス発生装置です。

従来機では一定だった吸脱着のサイクルを自由に設定可能です。

製品窒素ガスの吐出流量に応じてコンプレッサーの発停をコントロールし
原料空気の消費量を削減。大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果を得ることが
できるだけでなくコンプレッサーの寿命を大幅に伸ばすことが可能です。

【特長】
■防滴構造で屋外に設置可能
■日本語・英語による操作設定可能
■運転状況の管理がタッチパネルで行なえる
■独自の省エネシステムを採用
■装置保証１年間

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『H2PDシリーズ』は、アルカリ電解液仕様の超高純度水素ガス発生装置です。

ガスクロマトグラフィーのキャリアガスにも使用可能です。

また、装置内部での貯蔵水素ガスはどの圧力でも50cc以下。
ユーザー様でも自己メンテナンス(電解液交換)が可能です。

分析業界向けガス発生装置グローバル市場での圧倒的な信頼と
実績がございます。

【特長】
■純度99.99999%以上、圧力0.4MPa
■最大ガス流量は150cc/min、300cc/minの2機種ラインアップ
■電解セルにパラジウムを使用
■ピュアでドライな水素ガスを発生させることができる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITSHシリーズ』は、低騒音を実現した装置形状でメンテナンスも含めて
すべて前面から行える設計窒素ガス発生装置です。

エアータンクを内蔵していますので、直結してもコンプレッサーに負担が
かかりません。

また、エアータンクをN2バッファタンクと使用して標準N2ガス吐出圧力よりも
高い吐出圧力に対応することができます。

【特長】
■省エネ運転機能を新たに搭載
■省スペース・低騒音設定
■エアータンク内蔵
■専用オイルミストフィルターユニット

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITKHシリーズ』は、小型軽量の窒素ガス発生装置です。

パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の
騒音を最低限に抑えました。

また、PSA内部を2～4ユニット組み合わせることにより大流量にも対応。
窒素ガスの使用流量が少ない時は運転ユニット数を減らし無駄な
エアーを使わない「流量運転モード」による台数制御を実現しました。

【特長】
■小型軽量
■省エネ運転など様々な設定が可能
■3.5型QVGA高精細表示タッチパネル採用
■低騒音設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITKH屋外シリーズ』は、運転モード設定・運転管理・異常時の診断等、
タッチパネルで設定、確認が可能な窒素ガス発生装置です。

窒素ガスの使用流量から、装置切替時間・運転ユニット数を調整する事により
無駄なエアーを使わない「流量運転モード」（省エネ運転）や製品窒素ガスの
レシーバータンクの圧力を監視して自動運転を行う「タンク圧力運転」など
様々な運転設定が可能です。

【特長】
■防滴構造で屋外設置可能
■省エネ運転など様々な設定が可能
■3.5型QVGA高精細表示タッチパネル採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITACシリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー
内蔵の窒素ガス発生装置です。

従来のモデルの簡単操作・総合制御はそのままに従来機より多機能に
進化しました。

日本語・英語による操作設定、運転状況の管理がタッチパネルで
行なえるだけでなく、窒素ガス吐出量に応じて省エネ運転を行える独自の
制御システムを実現しました。

【特長】
■日本語・英語による操作設定可能
■運転状況の管理がタッチパネルで行なえる
■独自の省エネシステムを採用
■水ドレン内部処理可能
■装置保証１年間

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
 （詳細を見る）

『ITN屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー
内蔵の窒素ガス発生装置です。

運転中の窒素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、
純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を
表示します。

また、圧力容器の適用範囲外（日本）。変圧器を内蔵（オプション）
することで、海外でも使用可能です。

【特長】
■高純度（99.99%）
■防滴構造で屋外設置可能
■マイコン制御・LCD表示
■低騒音高寿命設計
■第二種圧力容器適用範囲外

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『ITNH屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー
内蔵の窒素ガス発生装置です。

従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ。
吐出圧力も大幅アップしています。

さらに流量調節にも定流量調節弁を標準装備しているので２次側の
圧力変動の影響を受けません。

【特長】
■国内メーカー製低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサーを採用し
■従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ
■吐出圧力も大幅アップ
■流量調節にも定流量調節弁を標準装備
■２次側の圧力変動の影響を受けない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『FMNV2シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用した精密ニードル
バルブです。

マルチダイヤル表示付でニードル回転数を常に表示するため、よりシビアな
開度（流量）調整が誰でも簡単におこなうことが可能となります。

パネルマウント取付にも対応し、取り付けも容易です。

【特長】
■FMNV1のニードル機能はそのままに回転数をマルチダイヤル
　表示を付加した製品で誰でも簡単確実に流量管理が可能
■マルチダイヤルはロックレバー付でワンタッチでロックが可能
■パネルマウント取付にも対応し、取り付けも容易
■FMNV1と同様に使用流体に合わせて豊富なニードルレンジ、
　 シール材が選定可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。


 （詳細を見る）

『FMNV1シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用したマイクロニードル
バルブです。

スムーズなニードル動作により再現性に優れ、回転数に対しリニアな
流量特性が得られます。

また、ニードル回転数も多く、豊富なニードルレンジ／シール材
ラインアップで各種流体の流量調整をはじめ、微少流量やシビアな流量調整が
必要な用途に適しています。

【特長】
■ニードル部を無回転構造にする事により、
　スムーズに精密な流量制御が可能（約13回転）
■豊富なニードルラインアップの中から、
　使用条件にあったニードルの選定が可能
■2種の本体形状の中から、配管条件にあった形状を選択可能
■豊富なシール材ラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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『C5シリーズ』は、特殊なフッ素樹脂製スプリングを採用した逆流防止弁です。

接液する樹脂は、すべてフッ素樹脂を採用した設計。

各種シール材を選定することで、薬液や溶剤、腐食性流体等
幅広い流体で使用可能です。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁・チャッキ弁）
■接液する樹脂はすべてフッ素樹脂を採用した設計
■特殊なフッ素樹脂製スプリングを採用
■薬液や溶剤、腐食性流体等幅広い流体で使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『CHシリーズ』は、二次側の圧力が一次側の圧力より高くなった際に
流体の逆流を防止する逆流防止弁です。

SUS316仕様は、13MPaまで使用可能な高圧対応。

ダブルタッチ方式（Oリング＋メタルタッチ）により、シール材への負荷を
軽減した設計となっております。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁・チャッキ弁）
■高圧対応
■ダブルタッチ方式によりシール材への負荷を軽減
■ステンレスタイプの金属材質はすべてSUS316を採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『C・CFシリーズ』は、気体、液体、特殊流体まで実績豊富な
汎用型の逆流防止弁です。

Oリングとメタルシールでのダブルタッチ方式により、
シール材への負荷を軽減。

シンプル構造により、低価格を実現。豊富な口径・シール材を
ラインアップしております。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁・チャッキ弁）
■シンプル構造により、低価格を実現
■ダブルタッチ方式によりシール材への負荷を軽減
■豊富な口径・シール材ラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ダイアフラムポンプとは、小型、軽量設計により機器内蔵が容易で、
ガス分析のサンプリング用に適しています。
気液混合エアーにも対応し、液体用としても使用出来ます（自吸式）。

ローエンドモデル、振動低減モデル、高温仕様、防爆仕様、
液体仕様、大流量モデルの取り組みをしております。
接ガス材質には様々な種類を揃え、耐腐食性の向上を実現！

＜製品別特長＞
■ダイアフラムポンプ　FD-2/FD-2DC
・従来の汎用型から振動を大幅に低減し、設置での防振対策不要
・オプションで速度制御機能を搭載したモーターを準備、可変速運転による流量制御が可能

■ダイアフラムポンプ　高温仕様　FD-2HT
・フッ素樹脂、カルレッツ材を標準仕様とし、耐腐食性を向上して
　150℃までの高温ガスが使用でき、全体的なコストダウンも実現
・排ガス等の高温ガス分析や、高温の液体でも使用可能
・オプションで速度制御機能を搭載したモーターを準備し、可変速運転の流量制御が可能

■ダイアフラムポンプ　耐圧防爆型　FD-5XP
・耐圧防爆d2G4をクリアしたモーターを搭載
・小型、軽量を実現
 （詳細を見る）

ＩＢＳの『RM2シリーズ』は配管内の圧力が設定圧力以上になると、
1 次側から2 次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。

RM2シリーズは、RM1と比べ外部リークのリスクを低減した仕様となります。

選定条件により薬液や溶剤、腐食性流体でも使用可能です。

【特長】
■RM1シリーズよりも外部リークのリスクを低減した設計
■シール材EPDM、カルレッツもラインナップし、薬液や溶剤含め様々な流体に使用可能
■設定圧力を外部で任意調整ができ、配管取り付け後も簡単に調整が可能
■小形設計で大流量仕様

※詳細につきましては、お問合せかＰＤＦをダウンロード下さい。 （詳細を見る）

『CM[M]シリーズ』は、安定作動を追求した汎用型の逆流防止弁です。

調芯機能（センターリング）により、チャタリングを抑制し
繰返し耐久性、信頼性を向上しました。

さらに、Oリングシールとメタルタッチ方式を採用し安定したシールを持続。
豊富なシール材質をラインアップしています。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁）
■耐久性、信頼性を向上
■安定したシールを持続
■豊富なシール材質をラインアップ
■ニッケルメッキを標準採用し耐食性を向上（黄銅品）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITOZ屋外シリーズ』は、O2ガスの使用量に応じて子機の運転台数を制御可能な
PSA酸素ガス発生装置です。原料エアーの消費量を減らすことでCP消費電力を削減し、
大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果が得られます。

従来の2塔式PSAは2つの吸着塔が交互に吸脱着を行うため、O2ガス発生は間欠的でした。
台数制御PSAは組み合わせた子機との吸脱着タイミングをずらし、連続的に近い
O2ガス発生を実現しています。

これにより、O2バッファタンク内圧力が一定に保たれ、0.3～0.35MPaの
高吐出圧力を実現しました。

また、原料空気は親機に内蔵されたエアータンクから順次供給されるため、発生量が増えても
タンク容量を増やすことなくコンプレッサーを保護することができ、インバーター式コンプレッサーと
組み合わせても別にタンクを設ける必要がなく省エネと省スペース化が可能です。

【特長】
■屋外設置タイプ
■高吐出圧力
■タッチパネル操作
■純度90%
■発生量9～60Nm3/h
■省エネ運転機能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITOSシリーズ』は、簡単操作で大流量タイプのPSA酸素ガス発生装置です。

運転操作設定、管理はカラーディスプレイタッチパネルに表示。

従来モデルをさらに小型化。制御、メンテナンスが前面から行えるイージーアクセス
設計のほか、さらなる静音化により人がいる作業環境に設置しても気になりません。

エアータンクを内蔵していますので、直結してもコンプレッサーに負担がかかりません。
また、エアータンクをO2バッファタンクと使用して標準O2ガス吐出圧力よりも高い吐出圧力に
対応することができます。この場合コンプレッサーとこのO2発生装置の間に、エアータンクを
設置することをお勧めします。

【特長】
■大流量
■タッチパネル操作
■純度90%
■発生量4.5～30Nm3/h

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITACL-O2屋外シリーズ』は、酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・
インバータを内蔵しタッチパネル操作による総合制御を実現した屋外設置対応の
PSA酸素ガス発生装置です。

11kw～22kwのオイルフリースクロールコンプレッサーと、冷凍式ドライヤーを
コンパクトに内蔵。吸着タンク・製品タンクには第二種圧力容器を採用し制御バルブには
エアオペレートバルブを使用し高耐久です。

自己診断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所をカラータッチパネルに
表示適切なサービス対応が可能です。

また、運転操作と運転状態はカラータッチパネルディスプレイで操作管理ができ、
異常が起こると異常箇所をディスプレイに表示し、適切な対応が可能。

さらに、低騒音オイルフリーコンプレッサーユニットを内蔵し徹底した防音対策を
施すことにより静かな室内でも使用できます。

【特長】
■中型
■屋外タイプ
■タッチパネル操作
■純度90%以上
■発生量100～200NL/min

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITACL-O2中型シリーズ』は、酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・
インバータを内蔵しタッチパネル操作による総合制御を実現したPSA酸素ガス発生装置です。
中型機種となります。

自己診断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所をカラータッチパネルに
表示適切なサービス対応が可能です。

運転操作と運転状態はカラータッチパネルディスプレイで操作管理ができ、
異常が起こると異常箇所をディスプレイに表示し、適切な対応が可能です。

低騒音オイルフリーコンプレッサーユニットを内蔵し徹底した防音対策を
施すことにより静かな室内でも使用できます。

【特長】
■中型
■タッチパネル操作
■純度90%以上
■発生量100～200NL/min

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITAC-O2小型シリーズ』は、酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・
インバータを内蔵しタッチパネル操作による総合制御を実現したPSA酸素ガス発生装置です。

オイルフリーコンプレッサーと冷凍式ドライヤーをコンパクトに納め、
水ドレン気化装置も内蔵しています。

また、運転操作と運転状態はカラータッチパネルディスプレイで操作管理ができ、
異常が起こると異常箇所をディスプレイに表示し、適切な対応が可能です。

その他、装置状態確認・装置異常出力・週間タイマー・メンテナンス時間管理
異常履歴確認・リモート運転・酸素濃度監視などの機能があります。

【特長】
■小型
■タッチパネル操作
■純度90%以上
■発生量14～68NL/min

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ICX-006』は、アイバスシリーズ第1弾の高性能酸素ガス発生装置です。

タッチパネル搭載で操作が簡単なほか、酸素濃度計付で酸素濃度管理が
容易に行えます。

タッチパネル内に、酸素濃度及び圧力の情報を表示します。

【特長】
■タッチパネル搭載で操作が簡単
■キャスター付で移動が簡単
■酸素濃度計付で酸素濃度管理が簡単
■タッチパネル内に情報表示（酸素濃度及び圧力）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITOZマスターシリーズ』は、制御機能を備えた親機（MasterPSA）とPSAユニットだけの
子機（ExtraPSA）を複数台設置し酸素ガス必要量に応じて親機のタッチパネルで
子機の運転台数を制御できる画期的なPSAです。

将来の増設に備え親機だけでも使えますが、このPSAは子機と組み合わせて使うことで、
多くのメリットを享受できるのが特長です。

親機が子機を総合制御するため、O2発生量を2倍に増設を考えた時に、
親機の半分のコストで子機を追加できます。O2ガスの使用量に
応じて子機の運転をとめることができ電力費を削減することができます。

当製品は組み合わせた子機との吸脱着タイミングをずらし、連続的に近いO2ガス発生を
実現しています。これにより、O2バッファタンク内の圧力が一定に保たれ、0.3～0.35MPaの
高吐出圧力を実現しました。

【特長】
■増設可能
■純度90%
■発生量4.5～120Nm3/h

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITOシリーズ』は、オイルフリーミニコンプレッサー＆酸素濃度センサー
内蔵したPSA酸素ガス発生装置です。

運転中の酸素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、
純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。

実績のある低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサー（1台～4台）を搭載し、
防音効果の高い構造により静かな室内でも使用できます。
小型軽量で水ドレン気化装置を内蔵していますので設置場所を選びません。

また、変圧器を内蔵（オプション）することにより海外でも使用可能。
第2種圧力容器の適用範囲外です。

【特長】
■純度90%以上
■発生量2.5～16NL/min(50Hz)
■マイコン制御・LCD表示
■低騒音高寿命設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITO屋外シリーズ』は、オイルフリーミニコンプレッサー＆酸素濃度センサー内蔵
屋外設置可能なモデルのPSA酸素ガス発生装置です。

運転中の酸素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、
純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。

実績のある低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサー（1台～4台）を搭載し、
防音効果の高い構造により静かな環境でも使用できます。

また、変圧器を内蔵（オプション）することにより海外でも使用可能。
第2種圧力容器の適用範囲外です。

【特長】
■屋外設置タイプ
■純度90%以上
■発生量2.5～16Nm3/h(50Hz)
■マイコン制御・LCD表示
■低騒音高寿命設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITNシリーズ』は、実績豊富な低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサー
（1台～4台）を搭載し、防音効果の高い構造により静かな室内でも使用できる
PSA窒素ガス発生装置です。

また、小型軽量で水ドレン気化装置を内蔵していますので設置場所を選びません。

運転中の窒素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、
純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。

圧力容器の適用範囲外(日本)です。変圧器を内蔵（オプション）することで、
海外でも使用可能できます。

【特長】
■高純度(99.99%)で、従来機に比べ発生量20%アップ
■オイルフリーミニコンプレッサー、酸素濃度センサー内蔵
■マイコン制御・LCD表示
■低騒音高寿命設計
■第二種圧力容器適用範囲外

【仕様】
■方式PSA
■純度99～99.99％
■発生量5.4～52L/min

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ITOKシリーズ』は、カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・
総合制御はそのままにPLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に
進化したPSA酸素ガス発生装置です。

パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の
騒音を最低限に抑えました。

また、パッケージタイプのPSAとして最小クラスです。

【特長】
■小型
■タッチパネル操作
■純度90%以上
■発生量0.8～12Nm3/h

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『IAOKシリーズ』は、機器に必要なだけ酸素ガスを機器内部で作ることが
できるPSA酸素ガス発生装置です。

コンパクト設計なので狭い場所でも組込み可能。
エアー源と電源があれば多用途に使用でき、コンプレッサー組込も対応可能です。

また、第二種圧力容器の適用範囲外で製作可能です。
ご要望にあわせて個別対応（OEM供給）させていただきます。
ご仕様条件をお聞かせください。

【仕様】
■純度90%以上
■0.2NL/min～12Nm3/h

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『CCシリーズ』は、カートリッジ式で小型機器への組込に適した逆流防止弁です。

樹脂製（スプリングSUS）のため軽量、安価なチャッキ弁。
水道水の他、各種液体も対応可能な、低クラッキング仕様となっております。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁）
■カートリッジ式の為、小型機器への組込におすすめ
■樹脂製のため軽量、安価
■水道水の他、各種液体も対応可能
■低クラッキング仕様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『C8シリーズ』は、樹脂製のため軽量な逆流防止弁です。

配管取付姿勢が自在。
水道水の他、各種液体も対応可能な、低クラッキング仕様となっております。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁・チャッキ弁）
■樹脂製のため軽量
■水道水の他、各種液体も対応可能
■配管取付姿勢は自在
■低クラッキング仕様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『HVCシリーズ』は、大流量で高圧に対応する逆流防止弁です。

シール材への負荷を軽減した設計のほか、取付方向が自在なチャッキ弁です。

豊富な口径、シール材をラインアップ。
新構造採用により、大流量化を実現しました。（フルボア設計）

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁）
■大流量化を実現
■シール材への負荷を軽減した設計
■豊富な口径、シール材ラインアップ
■取付方向自在

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『CAMシリーズ』は、クラッキング圧力の任意調整が可能な逆流防止弁です。

試作機、研究等の少量用途に適したチャッキ弁です。
高圧対応（最高使用圧力：20MPa）のほか、小型で軽量設計となっております。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁）
■クラッキング圧力の任意調整が可能
■高圧対応（最高使用圧力：20MPa）
■試作機、研究等の少量用途におすすめ
■小型、軽量設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『CDシリーズ』は、フッ素樹脂製の特殊スプリングを採用した逆流防止弁です。

接液する樹脂はPFA及びPTFEで構成。
チューブ出しにつき、継手仕様を選びません。

耐薬品性が求められる用途におすすめです。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁・チャッキ弁）
■接液する樹脂はPFA及びPTFEで構成
■チューブ出しにつき、継手仕様を選ばない
■フッ素樹脂製の特殊スプリングを採用
■耐薬品性が求められる用途におすすめ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『CPシリーズ』は、PP(ポリプロピレン)を採用した逆流防止弁です。

フッ素ゴムを標準採用。
本体材質はPPを採用しているため耐食性に優れます。
スプリング方式を採用し、安定したシール性能を実現しました。

【特長】
■チェックバルブ（逆止弁・チェック弁・チャッキ弁）
■樹脂製のため小型軽量、安価
■本体材質はPPを採用しているため耐食性に優れる
■スプリング方式を採用し安定したシール性能を実現
■フッ素ゴムを標準採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ダイアフラム式エアーポンプ FD-5／FD-2N(DC）』は、
気液混合エアーにも対応した自吸式で、液体用としても使用可能。

吸排気口が標準でチューブ接続となっているため、
くい込み式の継手、溶接継手にも対応できます。

小型・軽量設計で、機器への組込みが簡単にでき
ガス濃度計やガス分析計などの関連機器に使用できます。

【オプション対応も可能です】
■高温仕様
■防爆仕様
■アルミ仕様（アルミヘッド、アルミチューブ）
■樹脂仕様（PTFEヘッド、PTFEチューブ）
■DCモーター仕様、ACモーター(200V）仕様
（FD-2Nは、標準でAC・DC仕様がお選び頂けます）

※詳しくはPDF資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

独自設計により長寿命、全体の気密性も高く設計されています。
接ガス(液)部はフッ素樹脂、ステンレスの構造となり、耐食性が必要な環境下でも使用可能です。
吸排気口(IN/OUT)はチューブ接続となっており、くい込み式の継手にも対応可能です。(ねじ込み式の継手も対応可)
振動低減仕様、高温仕様、防爆型仕様を追加。
気液混合流体にも対応し、液体用(自吸式)としても使用可能です。
様々な要求仕様や用途に合わせ設計、製造が可能です。

例)気密性を向上させたハイエンドモデル対応
　二重ダイアフラム構造による外部へのリークをシャットオフ
　CE/UL/特殊モータ等の搭載、液体仕様による脈動低減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

・優れた気密性
溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。
ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec

・コンタミネーションが無い
接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。

・耐食性が高い
接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。
バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、
オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。

・寿命が長い
運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、
製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。

※特殊仕様対応も可能です。 （詳細を見る）

用途として下記のような事例がございます。

◆燃焼　焼却炉、溶解炉　工業炉の燃焼効率アップ

◆水環境　水質浄化（閉鎖性水域や工場、悪臭低減等の排水処理）、　
　　　　　下水処理施設の硫化水素抑制、
　　　　　溶存酸素（DO）量のアップにより低酸素状態を改善

◆農業　水耕栽培、植物工場　成長促進に最適

◆オゾン　上下水・プール・工場等産業用水・排水処理・脱臭や脱色用
　　　　　低露点だからオゾン発生器の原料ガスに最適

◆バイオ　培養、発酵　酸素ボンベの代用として、研究用途にも最適

◆養殖　魚介類の養殖場　酸素不足を改善し、ストレスを解消 （詳細を見る）

用途として下記のような事例がございます。

◆窒素ボンベの代替用
　各種分析機器・科学機器等

◆食品・医薬品の保存・樹脂成形等
　酸化防止・変質防止・脱酸素用

◆電子機器用　
　溶接・半田付け処理時の酸化防止等

◆防爆ガス用
　石油・化学工業等 （詳細を見る）

小型・軽量のチェックバルブ（逆止弁）です。
豊富な接続口径（1/8”～1”）且つ、様々なＯリング材質をラインナップしており、
特殊流体（溶剤・腐食性ガス等）にも使用可能です。

調芯機能（センタリング）によりチャタリングを抑制し、繰り返し耐久性、信頼性を向上させたCMシリーズをはじめ、様々な特徴を持ったバルブを取り揃えています。

広く一般産業に使用されており、医療分野でも多数採用実績のあるバルブです。 （詳細を見る）

高精度なクラッキング性能及び再現性に優れており、且つ高いシール性能を有するリリーフバルブ（圧力逃し弁）を、大気開放型、インライン型、高圧型、外部調圧型等、取り揃えています。

シンプル構造により、小型軽量設計です。
低圧（3kPa）～高圧（4MPa）まで幅広い圧力に対応しています。
広く一般産業に使用されており、医療分野でも多数採用実績のあるバルブです。 （詳細を見る）

再現性に優れ、回転数に対し、リニアな流量特性です。
ニードル回転数が多く、微少流量やシビアな流量調整が必要な用途に最適です。
豊富なニードルレンジ／シール材ラインナップにより各種流体（薬液、溶剤等）の流量調整が可能です。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、液体仕様のダイアフラムポンプ『FD-5L/FD-5DCL』の
ご紹介です。

最大流量は1.2L/min以上で、最大真空度が-30.0kPaG以下。
液体ポンプとして使用可能で、腐食性流体(洗浄液、プリンタインク等)
の移送用途に適しています。

この他にも、最大流量が0.5L/min以上の「FD-2L/FD-2DCL」もご用意
しております。

【特長】
■腐食性流体(洗浄液、プリンタインク等)の移送用途に好適
■液体ポンプとして使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『FD-2N/FD-2NDC』の
ご紹介です。

最大流量は2L/min以上で、最大真空度が-35.0kPaG以下。
安価で軽量なタイプです。


【特長】
■安価
■軽量

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『LVM-10/MF-1』のご紹介です。

最大真空度は-54.6kPaG以下で、最大運転圧力は
63.7kPaGとなっております。

オプションでφ6mm、φ6.35mm、φ4mm、φ5mm、くい込み継手可能です。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『DCP-20』のご紹介です。

最大真空度は-54.6kPaG以下で、最大運転圧力は
58.8kPaGとなっております。

オプションでφ6mm、φ6.35mm、φ4mm、φ5mm、くい込み継手可能です。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ICX-005HP』は、従来の2倍の圧力供給が可能な高性能酸素ガス発生装置です。

タッチパネル搭載で操作が簡単なほか、酸素濃度計付で酸素濃度管理が
容易に行えます。

タッチパネル内に、酸素濃度及び圧力の情報を表示します。

【特長】
■タッチパネル搭載で操作が簡単
■キャスター付で移動が簡単
■酸素濃度計付で酸素濃度管理が簡単
■タッチパネル内に情報表示（酸素濃度及び圧力）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

大気圧～微圧環境下での使用を想定し設計されたリリーフバルブです。
特殊ダイアフラム構造により、高いシール性能再現性を実現しました。
微圧環境設備、回路の圧力制御用途に最適です。

※詳細につきましては、お問合せかＰＤＦをダウンロード下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『FD-15/FD-15DC』の紹介です。
最大流量は20L/min（FD-15DC）以上で、最大真空度が-70.0kPaG以下です。

【特長】
■気密性が高く、気体の昇圧、循環にも好適
■DCモータでは標準機能として可変速運転が可能
■オプションで高温型、防爆型対応が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、ダイアフラムポンプ『FD-15XP』の紹介です。
最大流量は15L/min以上で、最大真空度が-70.0kPaG以下です。

【特長】
■気密性が高く、気体の昇圧や循環にも最適
■耐圧防爆型(d2G4)
■小型/軽量

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社が取り扱う、液体仕様のダイアフラムポンプ『FDL-10』の
ご紹介です。

【特長】
■DCモータではブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能
■脈動・振動・騒音低減
■自吸式：3ｍ(吸込揚程)
■耐食性の高い材質
■可変速機能(標準搭載)
■アラーム検出機能(標準搭載)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）