キヤノンアネルバ株式会社 ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換!ワイドレンジ電離真空計

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

入力電圧はワイド電圧。

外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、
CEマーキング、RoHSに対応しています。

自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、
制御などにご使用いただけます。

【特長】
■外部入出力
■RS-232C通信機能を標準装備
■入力電圧はワイド電圧
■CEマーキング、RoHS対応
■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

【仕様(抜粋)】
■圧力表示範囲:0.01×10^-7~13.2×10^0Pa
■圧力表示:デジタル、測定レンジ自動切換
■セットポイント:2点標準装備(ヒステリシス付き)
■通信機能:RS232C標準搭載(9600、4800、2400、1200bps)
■外形寸法(mm):104W×99H×296D
■質量:1.2Kg
■消費電力:50VA AC90~240V 50/60Hz
■標準構成:真空計本体(測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません)
■対応:CEマーキング、RoHS

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■自動化真空装置の圧力測定
■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
■マルチチャンバシステムでの圧力測定
■一般真空装置の圧力測定

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

取扱企業ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス

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