ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』キヤノンアネルバ

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

入力電圧はワイド電圧。

外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、
CEマーキング、RoHSに対応しています。

自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、
制御などにご使用いただけます。

【特長】
■外部入出力
■RS-232C通信機能を標準装備
■入力電圧はワイド電圧
■CEマーキング、RoHS対応
■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

【仕様（抜粋）】
■圧力表示範囲：0.01×10^-7～13.2×10^0Pa
■圧力表示：デジタル、測定レンジ自動切換
■セットポイント：2点標準装備（ヒステリシス付き）
■通信機能：RS232C標準搭載（9600、4800、2400、1200bps）
■外形寸法（mm）：104W×99H×296D
■質量：1.2Kg
■消費電力：50VA AC90～240V 50/60Hz
■標準構成：真空計本体（測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません）
■対応：CEマーキング、RoHS

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。