真空計シリーズ（クリスタルゲージ/電離真空計/サーモカップル真空計）

『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。

オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。

ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、
ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、
大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。

【特長】
■見やすい液晶表示形式
■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示
■圧力レンジは自動切換
■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
■セットポイントを 2点標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する
豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。

真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や
APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。

「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの
コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の
搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

【特長】
■圧力レンジは自動切換
■圧力及び種々のメッセージが液晶表示
■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
■セットポイントを2点標準装備
■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

入力電圧はワイド電圧。

外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、
CEマーキング、RoHSに対応しています。

自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、
制御などにご使用いただけます。

【特長】
■外部入出力
■RS-232C通信機能を標準装備
■入力電圧はワイド電圧
■CEマーキング、RoHS対応
■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、
信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。

水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、
はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。

あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の
圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

【特長】
■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定
■熱源（フィラメント）を持たない
■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない
■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g
■環境に配慮した少ない消費電力

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『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく
割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。

取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の
ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。

到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの
圧力計測が1つのゲージで行なえます。

【ラインアップ】
■MG-2
■MG-2M
■MG-2I/NW16、25
■MG-2I/φ34ICF、φ70ICF
■MG-2F
■MG-2WF

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