ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』キヤノンアネルバ

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています

『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。

オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。

ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、
ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、
大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。

【特長】
■見やすい液晶表示形式
■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示
■圧力レンジは自動切換
■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
■セットポイントを 2点標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

【仕様（抜粋）】
■圧力表示範囲：0.1×10^-7～1.32×10^1Pa
■圧力表示：測定レンジ自動切換
■セットポイント：2点標準装備（オープンコレクタ）
■外形寸法（mm）：H99×W209×D330
■質量：1.9kg（オプションボード未装着時）
■エミッション電流：10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定
■標準構成：真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません）
■対応：CEマーキング、RoHS

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。