プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』キヤノンアネルバ

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80amu）かつ高感度で分圧測定を実現。

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。

プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。
プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。

【特長】
■プロセス中に高感度で水素を検出
■広い圧力領域を高感度で測定
■メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
■さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　資料内の動作圧力に関する記載が「1.3Pa以下」となっておりますが、正しくは「2.0Pa以下」となります。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/ma_detail0…

基本情報プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

【仕様（抜粋）】
■測定質量範囲：m/z 1～80
■動作圧力：2.0Pa 以下
■最小検知濃度：5ppm（H2 を除く）H2：100ppm
■SEM感度：7.5 × 10^-5 A/Pa 以上
■ファラディ感度：7.5 × 10^-9 A/Pa 以上
■接続フランジ：φ 70ICF
■質量：分析管1.1kg　コントローラー2.2kg
■通信規格：RS-232C または RS-485
■制御ソフトウェア：QUADVISION3 Win7、8.1、10 対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■成膜中の品質管理 ■残留ガス分析 ■リークチェック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。