四重極型質量分析計（プロセスガスモニタ）『M-080QA-HPM』

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。

プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。
プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。

【特長】
■プロセス中に高感度で水素を検出
■広い圧力領域を高感度で測定
■メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
■さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　資料内の動作圧力に関する記載が「​1.3Pa以下」となっておりますが、正しくは「​2.0Pa以下」となります。 （詳細を見る）