コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』キヤノンアネルバ

パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な
ガス分析システムです。

パソコン制御による容易な測定が可能。

用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの
組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。

【特長】
■分析計は5機種より選択可能
・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速）
■用途に合わせて、組み合わせシステムアップ可能
■小型、省スペース
■容易な操作性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/mass_detai…

基本情報コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』

【ラインアップ】
■M-101GA-DF
■M-101GA-DM
■M-201GA-DM
■M-401GA-DM

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■真空装置残留ガス分析 ■熱天秤放出ガス分析 ■昇温脱離ガス分析 ■炉内ガス分析、モニタリング・真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、　電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉　など ■密封ガス分析　等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。