四重極型質量分析計

『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した
PC制御専用の四重極型質量分析計です。

検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の
細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等
幅広く使用されています。

また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の
「M-070QA-TDF」もご用意しております。

【特長】
■検出器に2次電子増倍管を使用
■低ガス放出のイオン源を採用
■イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能
■QUADVISION
■豊富なI/O機能を標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な
高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。

m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や
8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。

UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能なほか、
低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能を有します。

【特長】
■UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能
■低ガス放出のイオン源を採用
■デガス機能有り

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、
シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。

基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、
あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、
お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。

シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、
安心してご使用いただけます。

【特長】
■フレキシブルにカスタマイズが可能
■W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能
■シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備
■後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でも注文可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な
ガス分析システムです。

パソコン制御による容易な測定が可能。

用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの
組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。

【特長】
■分析計は5機種より選択可能
・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速）
■用途に合わせて、組み合わせシステムアップ可能
■小型、省スペース
■容易な操作性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ガス分析システムはものづくりの品質管理や研究開発の手段として、幅広い分野・業界で利用されてきましたが、
分析対象の違いによって測定条件の違いがあり、適した測定を行うためには個別の対応が必要となるケースがあります。
キヤノンアネルバでは、自社製の四重極型質量分析計を使用して、お客様のご要望を元にオーダーメイドで構成（仕様）を設計し、ご要望・測定用途に沿った、好適なシステム構成を提案いたします。



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