四重極型質量分析計

『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した
PC制御専用の四重極型質量分析計です。

検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の
細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等
幅広く使用されています。

また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の
「M-070QA-TDF」もご用意しております。

【特長】
■検出器に2次電子増倍管を使用
■低ガス放出のイオン源を採用
■イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能
■QUADVISION
■豊富なI/O機能を標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な
高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。

m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や
8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。

UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能なほか、
低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能を有します。

【特長】
■UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能
■低ガス放出のイオン源を採用
■デガス機能有り

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、
シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。

基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、
あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、
お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。

シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、
安心してご使用いただけます。

【特長】
■フレキシブルにカスタマイズが可能
■W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能
■シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備
■後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でも注文可能

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『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な
ガス分析システムです。

パソコン制御による容易な測定が可能。

用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの
組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。

【特長】
■分析計は5機種より選択可能
・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速）
■用途に合わせて、組み合わせシステムアップ可能
■小型、省スペース
■容易な操作性

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