キヤノンアネルバ株式会社 コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』
- 最終更新日：2023-01-20 15:43:46.0
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四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム
『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、
シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。
基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、
あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、
お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。
シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、
安心してご使用いただけます。
【特長】
■フレキシブルにカスタマイズが可能
■W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能
■シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備
■後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でも注文可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』
【ラインアップ】
■M-070GA-CRFY
■M-101GA-CRFY
■M-101GA-CRMY
■M-201GA-CRMY
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■研究開発用途ガス測定 ・炉内ガス分析、モニタリング 真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、 電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉 など ・昇温脱離ガス分析 ・触媒反応ガス分析 ■プロセス装置用途ガス分析 ・真空装置のプロセスガス測定 ・真空装置の残留ガス測定/リーク検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログコンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』
取扱企業コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』
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■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス
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