コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』キヤノンアネルバ

四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、
シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。

基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、
あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、
お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。

シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、
安心してご使用いただけます。

【特長】
■フレキシブルにカスタマイズが可能
■W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能
■シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備
■後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でも注文可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/mass_detai…

基本情報コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』

【ラインアップ】
■M-070GA-CRFY
■M-101GA-CRFY
■M-101GA-CRMY
■M-201GA-CRMY

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■研究開発用途ガス測定・炉内ガス分析、モニタリング　真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、　電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉　など・昇温脱離ガス分析・触媒反応ガス分析 ■プロセス装置用途ガス分析・真空装置のプロセスガス測定・真空装置の残留ガス測定/リーク検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。