パーク・システムズ・ジャパン株式会社 原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』
- 最終更新日：2021-05-20 16:42:33.0
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欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング
ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。
広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを
大幅に向上させます。
また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な
表面粗さ測定を提供します。
【特長】
■メディアおよび基板用の自動欠陥検査
■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定
■真の非接触モードによるコスト削減
■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』
【仕様】
■モーター駆動XYステージ
・最大移動範囲：150 mm × 150 mm
・繰り返し誤差：2 µm
■モーター駆動Zステージ
・Z移動距離：25 mm
・分解能：0.1 µm
・繰り返し誤差：＜1 µm
■XYスキャナ範囲：100 µm × 100 µm
■XYスキャナ分解能：0.095 nm (20ビット位置制御）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■自動欠陥検査と表面粗さ測定に好適なAFM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』
取扱企業原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』
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【取扱製品】 ■研究用 ・小型サンプル対応AFM ・大型サンプル対応AFM ■生産ライン用 ・全自動AFM ■Bio and Chemical ・Bio AFM＆SICM
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