テクネ計測主力製品露点計 TK-100シリーズ の原理
センサーの材質に酸化アルミニウムを使用しており、
水分子量の電気容量を検知し測定しております。
高分子センサーよりも感度が高く、微量水分を検知できますが、
応答速が劣ります。用途としては、半導体、グローブボックス、電池製造など
常時低露点環境で多く利用されております。
測定範囲は、-100 ℃dp~+20 ℃dpです。
静電容量式露点計(酸化アルミニウム)の原理に関する詳細は、
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基本情報静電容量式露点計(酸化アルミニウム)の原理について
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | グローブボックス内の露点管理 ドライヤーの露点チェック 熱処理炉内雰囲気管理 クリーンルーム・ドライルームの露点管理 ガスの純度管理 天然ガス水分管理 半導体製造装置 有機EL製造 |
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