富士通特機コンポーネント株式会社 アルミナセラミック製絶縁端子碍子（ガイシ）とSUSフランジの接合
- 最終更新日：2021-06-08 14:34:33.0
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半導体製造装置・高電圧装置製造メーカー向け。当社の持つアルミナセラミックと金属接合の技術でお客様の要望を実現しました。
当社がご提案させていただいた事例をご紹介します。
半導体製造装置メーカー・高電圧装置製造メーカーから相談をいただきました。
【要望】
アルミナセラミックで絶縁端子を製作し、それをSUSフランジと接合できないか。
【提案】
アルミナセラミックとコバール金属をろう付けし、コバール金属部とSUSを
Tig溶接で製作することを提案。
【特長】
リーク保証は、ヘリウムリークディテクタにて1×10-9Pa・m3/sec以下。
メタライズは、Mo-Mn法（モリブデンーマンガン法）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報アルミナセラミック製絶縁端子碍子（ガイシ）とSUSフランジの接合
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置用絶縁碍子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログアルミナセラミック製絶縁端子碍子（ガイシ）とSUSフランジの接合
取扱企業アルミナセラミック製絶縁端子碍子（ガイシ）とSUSフランジの接合
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【営業品目】 ■各種精密加工製品 (石英加工／各種ガラス加工／各種精密接合加工／機械加工)
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