【TMF導入事例】大手半導体製造装置メーカー(韓国) アクアテクノロジー

TMFをキープロセスとして活用！高い水質の濾過処理水を95％という高い廃水回収率で実現

バックグライディング加工は微小で研磨特性を持つシリカ粒子を排出し、
それを含む廃水はその懸濁物質を除去しない限り再利用が行えません。

今までの固液分離技術だと数々のデメリットが生じてしまうこの廃水処理
ですが、チューブラ・メンブレン・システム(TMF)であれば優秀な能力を
発揮できることが、数多くの検証の上実証されてきました。

当廃水処理システムは廃水の排水量を減少させるだけでなく、後続処理に
RO(逆浸透膜)システムを置くことにより、高水準の水質を持つ脱イオン水の
大量回収を可能にします。

この工場では当システムの導入で超純水製造費及び工業排水の大幅削減を
可能にし、年間で約100万USドルもの経費削減を実現いたしました。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.aquatec.jp/index.htm

基本情報【TMF導入事例】大手半導体製造装置メーカー(韓国)

【導入事例】
■場所：韓国清州市
■処理内容：シリコンウェハのバックグライディング加工によるシリカ廃液再利用
■処理容量：3,000m3/日
■稼働開始：2013年7月
■納品先：韓国の大手半導体製造装置メーカー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。