株式会社アクアテクノロジー 【TMF導入事例】集積回路組立工場(中国蘇州市)
- 最終更新日：2023-01-20 11:42:53.0
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工業廃水のリサイクル・再利用にとって必要不可欠な処理！TMF適用事例のご紹介
バックグライディング、ダイシングは集積回路(IC)の製造工程です。
これらの作業工程では、超純水がウェハに付着するシリカの微細粒子や
その他物質の洗浄除去に使われ、工業廃水となり排出が行われます。
通常この廃水は超純水にシリカの微細粒子を含まれたものとなりますが、
時に研削液が混入している場合もあります。
このシリカ微細粒子等の除去は大容量に排出されるこの工業廃水の
リサイクル・再利用にとって必要不可欠な処理となります。
施設にとって、このシステム導入が好適な選択である事を検証いたします。
【導入先】
■中国蘇州市にある集積回路組立工場
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【TMF導入事例】集積回路組立工場(中国蘇州市)
【導入されたTMFシステムの詳細情報】
■浄水容量：200m3/dayを2系統にして運用
■モジュール：TMFシステム(モデル番号 #MME3005613VP)
■モジュール内チューブ数：13本
■メンブレンチューブ径：1インチ
■メンブレン：0.05ミクロン
■有効メンブレン表面積：1.82m3(1モジュール毎)
■モジュールハウジング：PVC(ポリ塩化ビニル)
■モジュール数：1系統につき12モジュール×2列、全システム内にある2系統の合計は24モジュール
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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