日酸TANAKA株式会社 超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

基本情報超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

【その他の特長】
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や
　アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広く使用可能
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意

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カタログ超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

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  超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

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取扱企業超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

【営業品目】 ○機器・溶接材料 　レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、 　溶接機器、溶接材料、産業用　ロボット、溶接溶断関係機器、容器、 　高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、 　半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、 　理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス 　酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、 　標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、 　ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工 　高精度分析用ガス供給設備

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