日酸TANAKA株式会社産業機器事業部
最終更新日：2021-07-16 10:46:06.0
超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を
頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した
「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に
実施しています。
一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や
アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用
いただいております。
【特長】
■一次側低圧用中流量機種
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには
メタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
取扱会社 超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
【営業品目】 ○機器・溶接材料 レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、 溶接機器、溶接材料、産業用 ロボット、溶接溶断関係機器、容器、 高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、 半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、 理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス 酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、 標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、 ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工 高精度分析用ガス供給設備
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