極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご紹介！
刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス
としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を
求められるものとなっております。
MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも
劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。
信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の
極微小リーク計測が求められます。
【多く使用される自動車エレクトロニクス(抜粋)】
■空気流量計
■アクセルセンサ
■圧力センサ
■ステアリングセンサ
■ミリ波レーダー
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基本情報極微小リーク分析
【その他の多く使用される自動車エレクトロニクス】
■ステアリングトルクセンサ
■O2センサ
■ホイール速度センサ
■赤外線カメラ
■エアバックセンサ
■ヨートレートセンサ＆加速度センサ
■車間制御センサ
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