東京電子株式会社
最終更新日:2021-08-04 14:13:46.0
極微小リーク分析
極微小リーク分析
刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス
としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を
求められるものとなっております。
MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも
劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。
信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の
極微小リーク計測が求められます。
【多く使用される自動車エレクトロニクス(抜粋)】
■空気流量計
■アクセルセンサ
■圧力センサ
■ステアリングセンサ
■ミリ波レーダー
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取扱会社 極微小リーク分析
○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計 ・真空ポンプ用電源 ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器
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