マイクロトラック・ベル株式会社 【技術情報】到達真空度
- 最終更新日:2022-02-18 17:50:50.0
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極低圧における吸着等温線測定精度が高まり、マイクロ孔解析の信頼性が高まった!
マイクロ孔の解析や表面分析において、超高真空下での吸着等温線測定の
重要性が高くなっています。
現在、ターボ分子ポンプに代表されるように、クリーンな真空を得ることは
技術的に可能ですが、定容量法ガス吸着装置は複数のバルブと配管・
ジョイントを有する為、サンプル部を高真空に到達することは困難です。
図は、電磁弁と空気作動弁の放出ガスの違いを示しています。
当社のホームページにて詳しく紹介していますので、ぜひご覧ください。
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基本情報【技術情報】到達真空度
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型番・ブランド名 | BELSORP |
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