半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒を起こしてしまった事例をご紹介
半導体メーカーがメンテナンスを行うために行ったベーキング作業
および酸化作業の打ち合わせ後、半導体製造装置に残留している
有害物質を検知管で測定する際に、有害物質が漏洩し、装置の傍を
通った際に被災してしまいました。
被災者は、事務所で約1時間休憩後も体調不良のため、メーカーの
産業医の診察を受け、さらに産業医の指示で大学病院で診察を受けたところ、
急性薬物中毒の診断を受け4日間の入院となりました。
【提案】
■作業前の環境濃度の確認、作業中の周囲への漏洩確認、
作業後の原状回復確認にガスモニターのご使用がお勧め
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【労働災害事例】半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒
【事例概要】
■発生場所
・半導体製造装置のメンテナンス作業中
■対策
・装置の扉を開放しないで有害物質の検知ができるようにすること
・装置内の有害物質等の検知を扉を開けて行わなくても出来るように
検知システムを自動化する等の検討を行う
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ【労働災害事例】半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒
取扱企業【労働災害事例】半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒
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【営業品目】 ■可燃性ガス検知・警報器 ■酸欠事故防止用ガス検知・警報器 ■毒性ガス検知・警報器 ■複合ガス検知・警報器 ■環境測定用各種測定器/その他諸機器
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