半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作業者が被災した事例
製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、
マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。
M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに
N液を投入したため、塩化水素ガスが発生。
ポリタンクから吹き出した白煙の塩化水素ガスがクリーンルーム内に
広がり、室内にいた3 名の作業者が目の痛みを訴え治療を受けました。
【提案】
■毒性ガスの漏洩を早期に検知し、警報を発する設備の設置がお勧め
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基本情報【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生
【事例概要】
■発生場所
・半導体素子製造工場でガリウム砒素ウエハーを製造しているクリーンルーム
■対策
・廃液回収用ポリタンクは確実に蓋をし、又は適切な排気装置を設置するなどにより、
ポリタンクから発生した化学物質の蒸気が作業室内に漏出しないようにすること
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カタログ【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生
取扱企業【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生
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【営業品目】 ■可燃性ガス検知・警報器 ■酸欠事故防止用ガス検知・警報器 ■毒性ガス検知・警報器 ■複合ガス検知・警報器 ■環境測定用各種測定器/その他諸機器
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